真空计与流量计在光伏行业pecvd设备上的使用情况-尊龙凯时人生就博官网登录

    国内光伏行业普遍使用的pecvd设备是由德国ruth&rau公司提供的。如常州天合， ruth&rau公司国内目前重要的zui终用户。      

    ruth&rau的pecvd设备上装配的压力计多为mks的626b13tde和627d01tdc1b，流量计多为1179b （sih4，nh3），这些产品均为mks德国工厂所生产，所以在价格上面会比较高。而国内本土的pecvd设备商，如七星华创、中电48所，选配的压力 计除mks的626b和627d外，也有inficon电容薄膜规：cdg025d，相对mks产品价格要便宜一些。两者的区别（以cdg025d和 626b为例）主要体现在量程跨度和精度上面；626b的量程可以跨越10⁵量级，如一般用的满量程为10torr的，zui小可以测到10^-4torr，对应inficon满量程10torr的cdg025d，其zui小可以测到10^-3torr。不过，光伏行业的pecvd工艺通常真空度不会低于1pa，常用在50-300pa，所以，两者都可以满足。

    在精度方面626b的精度为0.25%，cdg025d的精度为0.2%，cdg025d略高一些，不过相差不大，可相互替代。mks的627d是加热型电容薄膜规，精度为0.12%，与inficon的cdg045d类似，不过这2款的价格要高很多。

    流量计方面，除了mks的1179b系列以外，为节约成本，国内的设备商业找到想要的替代产品，如brooks，horiba，日本山武，alicat等 其他品牌可根据zui终用户的要求来选择，不过总体来说在pecvd的应用上，mks的流量计用得zui多，性能zui稳定，。