真空镀膜设备选用要点-尊龙凯时人生就博官网登录

▲炉体可选择由不锈钢、碳钢或它们的组合制成的双层水冷结构。
▲加热形式有电阻及感应式两种，电阻加热材料有钼丝（带）、钨丝（带）、石墨棒（板）、钽棒、镍铬丝（带）几种类型，可根据不同的温度和工艺要求进行选择。
▲加热保温层有金属型和复合型两种，根据不同工艺条件进行选择。
▲真空系统由机械泵、扩散泵、油增压泵、增扩泵、罗茨泵等以及与它们相匹配的各种气动、手动、电动阀门、管道等组成，根据工艺要求可自行选择。
▲温度控制系统可选择不同类型的测温仪、控温仪表及它们的传感元件。
▲真空测量可选择数字式智能真空计及的测量规管，确保真空度的准确性及产品可靠性。
▲可以配备多点记录仪，进行全程工艺分析、质量监控及生产管理。
▲根据设备使用特点，可选择手动、半自动、全自动或其组合的控制方式。
▲可根据使用要求配有各种充气类型、质量流量计、浮子流量计等，满足充气压力可控、多路充气等要求。
▲对超温、温度偏差大、炉体、泵、热交换器等缺水、扩散泵缺相、炉体充气过压、气源压力不足、过流过压、断路等异常情况进行声光报警并执行相应保护措施。
▲快冷却系统可选择自然冷却及热交换器循环方式，对于容量大的电炉可采用外循环快冷却系统，提高降温速度。
▲对于感应加热电源可选择中频可控硅电源或igbt电源。