如何选择inficon真空计-尊龙凯时人生就博官网登录

如何选择inficon真空计
　　
　　一，皮拉尼真空计psg500
　　
　　1.皮拉尼真空计原理
　　
　　 加热电阻丝，使之升温至需要的工作温度
　　
　　 由于气体粒子与电阻丝碰撞离开时带走了能量，电阻丝的温度会发生变化
　　
　　 热丝的能量损失与热丝周围的气体浓度及气体成分成比例关系
　　
　　2.衍生出两种类型的皮拉尼规
　　
　　 1，稳定温度，测量施加的电压变化等效测量真空度（inficonpsg500）
　　
　　 2，稳定电压，测量温度变化等效测量真空度（热偶规）
　　
　　 3.气体的热传导，与下列提条件有关:
　　
　　   1，气体类型
　　
　　   2，压力大小
　　
　　 4.皮拉尼真空计测量范围与精度
　　
　　 测量范围（空气,氧气,一氧化碳,氮气）：5x10-4至1000mbar
　　
　　 精度（氮气）:1x10-3…100毫巴±15%
　　
　　  5x10-4…1x10-3毫巴±50%
　　
　　  100...1000毫巴±50%
　　
　　 5.皮拉尼真空计的优特点
　　
　　   灯丝部分在不影响精度与速度的情况下，加以zui大的保护，大大延长了灯丝的使用寿命
　　
　　6.皮拉尼真空计具体型号
　　
　　 psg050/051
　　
　　 psg100-spsg101-s
　　
　　 psg500/500-spsg502
　　
　　 皮拉尼电容膜片复合真空计pcg400pcg410pcg550
　　
　　 1.有皮拉尼规与特制的陶瓷薄膜规合成在一起
　　
　　 2.两种原理的规管全过程都工作
　　
　　 3.100mbar—1000mbar使用薄膜规信号
　　
　　 4.1mbar–100mbar两规信号同时采用
　　
　　 5.5x10-4mbar–1mbar采用皮拉尼信号
　　
　　 6.输出的真空度信号（电压）连续，无跳跃
　　
　　 7.皮拉尼真空计应用行业
　　
　　 各种高真空泵的前级压力测量，如光伏，镀膜，等离子行业
　　
　　 各种中低真空测量，如照明，冶金
　　
　　 真空连锁控制，高真空计的点火开关控制，如peg100
　　
　　 psg050可*替代tr211，psg051可*替代tr216
　　
　　 pcg400,pcg410（现在已升级为pcg550，pcg400/pcg410已经停产）与psg500基本相同，但弥补了皮拉尼规大气测量段精度不足的弱点，而且不受气体类型的影响，在真空炉，单晶炉，多晶炉，蓝宝石炉上广泛应用
　　
　　 psg100psg101，与psg500/psg050基本相同，但因为具有通讯协议功能，在大系统中应用广泛
　　
　　二，电容薄膜规cdg025d/cdg045d/100d/160d/200d
　　
　　 1.电容薄膜规工作原理
　　
　　  压力使膜片变形，变形量与压力大小成比例关系
　　
　　  通过测量不同压力下的陶瓷膜片的变形量测量真空度
　　
　　2.电容薄膜规特点
　　
　　 以可靠的超纯陶瓷传感器室为基础构成
　　
　　 在严酷和腐蚀性环境中,稳定与可靠的高精度压强测量
　　
　　 快速的预热和恢复时间,提高生产率
　　
　　 的长期稳定性,再现性和重复性
　　
　　 由于电子学直接安装在传感器上,改进了温度补偿和emc兼容性
　　
　　 对环境条件变化的敏感度的降低使得测量更稳定
　　
　　 快速预热在开机的一分钟内达到快速稳定和进入准备使用状态
　　
　　 一键按钮:调零功能和设点调整
　　
　　 抗腐蚀超纯陶瓷传感器
　　
　　 能经受数百万次压强循环周期,包括大气压冲击,无任何降低性能的迹象
　　
　　 暴露大气压后快速恢复,无需隔离阀
　　
　　 对蒸气介质不敏感
　　
　　 先进的传感器屏蔽（）延长真空计在污染的工艺过程中的使用寿命
　　
　　3.inficon陶瓷技术
　　
　　 陶瓷技术的*性
　　
　　 1，无“记忆”效应
　　
　　 2，陶瓷无疲劳问题
　　
　　 3，的温度补偿
　　
　　 4，的零点稳定性
　　
　　低使用成本
　　
　　 1.非凡的使用寿命
　　
　　 2.无需隔离阀
　　
　　 4.skycdg025d测量范围
　　
　　 5.加热型薄膜规
　　
　　 6.加热型优点
　　
　　 零飘极小0.1%fs/年（干净真空环境）
　　
　　 更高的精度
　　
　　 环境温度变换/环境压力变化/环境气流变化对精度无影响
　　
　　 比工艺更快的预热启动时间’
　　
　　 快速恢复时间大气压<1minwithin5mv
　　
　　 任意安装角度
　　
　　 抗污染，可有效抵抗工艺气体或工艺产生气体的腐蚀影响
　　
　　 7.电容薄膜规的应用
　　
　　 要求高的应用条件下，而快速的压强测量
　　
　　 用于刻蚀，cvd,pvd,ald半导体设备制造，如太阳能光伏行业的pecvd用的很多，刻蚀上一般用陶瓷型的cdg025d-x3比较多，抗污染性能比较好。一般国内用的pecvd还有多晶炉上用的mks的电容薄膜规622a/626a/627d和inficon的cdg025d比较多，如德国ruth&rau公司的pecvd设备标配产品为mks的626b13tde和627d01tdc1b,质量流量计用的是1179bx23cr14vspc1800sccm/sih4 和1179bx5cr14nspc12000sccm/nh3，国内用的好多pecvd设备上用的是inficon的cdg025d。
　　
　　 资料贮存和显示器制造设备
　　
　　 工业真空设备
　　
　　 常用高精度真空测量
　　
　　三，热电离规
　　
　　1.热电离规原理
　　
　　richardson效应:高温灯丝发射电子，高能量电子撞击气体分子，气体分子的一个或多个电子被撞击出去，形成带正电的离子
　　
　　 1）带电离子被离子收集极捕捉收集放大输出
　　
　　 2）离子流的大小与气体压力成比例关系
　　
　　2.两种类型热电离规
　　
　　3.热电离型复合规
　　
　　 hpg400
　　
　　 bpg400/-sp/-sd/sr
　　
　　 bpg402
　　
　　 bcg450b-a规，皮拉尼规，薄膜规三种型号复合在一起
　　
　　
　　
　　4.优点及应用
　　
　　 bpg400
　　
　　 测量范围宽，一个规管覆盖13个量程5x10-10–1000mbar
　　
　　 精度高，*的重复性5%
　　
　　 灯丝材料镀钇的铱丝有*的抗氧化能力，皮拉尼自锁保护，使灯丝并不会因突然暴露大气而烧毁。
　　
　　 方便的校准调节
　　
　　 注意事项：
　　
　　 对气体有选择性
　　
　　 抗污染能力弱
　　
　　 普遍应用于从低到超高真空的测量
　　
　　 在工业，半导体，研究行业应用广泛
　　
　　 bpg402
　　
　　 双灯丝，大大延长使用寿命
　　
　　 电离规的工作可以自定义控制
　　
　　 探头备件自带校准参数，保证精度与重复性
　　
　　 hpg400
　　
　　 电离规与皮拉尼的复合
　　
　　 皮拉尼自锁保护电离规
　　
　　 电离规的工作启动点可以一定范围内自定义
　　
　　 简易的校准功能
　　
　　 相对便宜的价格
　　
　　 bcg450
　　
　　 可调的电离规工作起点
　　
　　 的重复性
　　
　　 的大气端测量
　　
　　四，冷电离规（潘宁规） peg100/050
　　
　　 1.冷电离规原理
　　
　　 通过气体放电方式产生电子，通过磁场使电子获得能量将气体分子电离
　　
　　 2.潘宁规特点与应用
　　
　　 测量范围：5x10-9to1x10-2mbar
　　
　　 全金属密封
　　
　　 无灯丝
　　
　　 易清洗
　　
　　 应用于普通的高真空测量
　　
　　3.冷规复合规mpg400特点与应用
　　
　　 冷规与皮拉尼规的复合
　　
　　 测量范围广：5x10-9-1000mbar
　　
　　 易于保养清洗
　　
　　 无高真空灯丝，
　　
　　 应用于普通高真空测量
　　
　　4.冷规及复合规性能比较