电容膜片真空计应用范围:
1,要求高的应用条件下,而快速的压强测量:
2,用于刻蚀,cvd, pvd, ald半导体制造设备
3,资料贮存和显示器制造设备
4,工业真空设备
5,常用高精度真空测量
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