全量程真空计,351-010 inficon的冷阴极和皮拉尼的复合真空规 mpg400和mpg401, 测量范围从 5x10-9毫巴至大气压(3.8 x10-9乇至大气压).将两种测量方式组合在一个具有对数模拟输出的小型单元内,大大地降低了安装,设置和集成的复杂性.
新款真空规管控制器vcg50x用于持久的过程测量,控制和数据记录的尊龙凯时人生就博官网登录的解决方案。与宽范围的 inficon 主动式真空计兼容, 新型 vgc50x 系列主动式真空计可用于从 10e-10至 1500毫巴 (10e-10至 1125 乇) 整个压强范围和设点状态的监测和数据记录.
英福康潘宁规,冷阴极真空计inficon 潘宁peg100型真空计提供可靠的高真空测量。 坚固耐用的潘宁冷阴极传感器不会出现灯丝烧毁的现象。 由于采用钛阴极板且等离子点火后高电压将会降低,真空计还可在溅射应用环境下运行。 现场总线选件,除了对数模拟输出信号外,允许使用 profibus dp 或 devicenet 协议将真空计轻松集成到真空系统中。
inficon b – a 型皮拉尼电容薄膜真空计, bcg450, 将三种不同的真空计组合在一个小型, 经济的真空规管中, 测量过程压强和基本压强 5 x 10-10至 1500 毫巴 (3.75 x 10-10 至 1125 乇). bcg450 用于取代三种传感器(热离子, 对流增强型皮拉尼和真空开关), 从而节省成本和宝贵的工具空间. 皮拉尼热电离电容薄膜3合1b-a型真空计
cdg200d英福康高温高精真空计是实现准确总压测量与控制的理想之选。cdg200d真空计温度控制在200℃,具有超卓的性能,适用于苛刻的半导体和等离子工艺。在1torr至1000torr满量程范围内均可使用,带所有常用类型的法兰和现场总线接口,能够提供0至10v不受气体类型限制的对数压力信号。inficon电容膜片压力计采用超纯氧化铝陶瓷隔膜,具有较强防腐蚀性。
inficon porter cdg020d 电容膜片真空计是高质量, 低成本, 与气体类型无关的压强传感器。porter 设计用于在工业环境中长期在线监测,陶瓷传感器提供多年内无需维护的可靠的满量程和零点稳定性, 抗腐蚀的整体陶瓷传感器结构保证超卓的温度补偿。电容薄膜规,小型电容膜片真空计
加热型电容薄膜规,高精度真空计 inficon sky cdg100d 真空计是高精度总压强测量和控制的z佳选择. 为达到优异的半导体和等离子过程要求的性能, 将 cdg100d 真空计的温度控制于100°c. 全量程范围从100 毫乇 至 1000 乇, 配有全部常用的法兰型式和 fieldbus 接口, 和提供线性的 0 至 10 伏与气体类型无关的压强讯号.
inficon sky cdg045d 真空计是高精度总压强测量和控制的z佳选择. 为达到优异的讯号稳定性和可重复性, 将 cdg045d 真空计的温度控制于45 °c. 全量程范围从100 毫乇至 1000 乇, 配有全部常用的法兰型式和 fieldbus 接口, 和提供线性的 0 至 10 伏与气体类型无关的压强讯号. 加热型电容薄膜规,高精度真空计
英富康皮拉尼真空计 inficon 皮拉尼psg500、psg502-s、psg510-s 和 psg512-s型标准真空计采用当今市场上*的数字皮拉尼技术。不锈钢传感器单元坚固耐用,结构设计紧凑,适用于半导体系统和标准应用,例如前级真空管。
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