品牌 | inficon/美国 | 产地类别 | 进口 |
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应用领域 | 电子,综合 |
英福康高压强热电离皮拉尼真空计hpg400将高压强热电离与皮拉尼真空计综合,在一个小型, 轻便与经济的规管中, 测量压强从 2 x 10-6 毫巴至大气压(1.5 x 10-6 乇至 大气压)。 hpg400提供高度的重复性和再现性压强测量, 用于准确溅射过程的压强控制。
优势
1.英福康高压强热电离皮拉尼真空计节省成本和设备空间, 降低真空测量的安装与设置的复杂性
2.高压强热电离真空计从1×10-5至1毫巴为要求高的过程控制提供准确, 可靠的压强测量
3.用户可选的热电离发射在5×10-2至1毫巴之间起始工作
4.皮拉尼联锁保护热阴极防止它过早烧毁
5.备有可选的图形显示器和fieldbus接口
6.高真空皮拉尼自动调整, 减少操作人员的干预
用途
1.半导体制造中溅射工艺应用, 电子学和传媒工业
2.工业镀膜
3.在低至高真空范围中系统的一般真空测量和控制
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