| 品牌 | busch/德国普旭 | 产地类别 | 进口 |
|---|---|---|---|
| 应用领域 | 化工,电子 |
德国busch废气处理系统
普旭真空为半导体、lcd及相关行业提供了应用广泛的新一代废气处理系统。卓效的废气处理技术提供净化到阈限值以下的气体，同时满足现有的和发展中的要求。
产品型号
technology | model | capacity（slm） | applications | gas |
flameless catalytic （afc） | afc 0500a | 500 | pe-cvd, hdp-cvd, ald(nf3), amoled 6g cvd | flammable gases，water-soluble gases |
afc 2000a | 2000 | amoled 6g cvd | ||
wet-plasma-wet（apw） | apw 0500a | 500 | etch for pfcs | |
burn-wet （abw) | abw 0500a | 500 | cvd,etch for pfcs | |
thermal-wet （atw) | atw 0500a | 500 | ald,cvd,dief | |
atw 1000a | 1000 | ald,cvd,diff,lcd | ||
atw 3500a | 3500 | mo-cvd,epi, lcd(7g) | ||
atw 4000a | 4000 | mo-cvd,epi, lcd(>8g) | ||
wet(awe) | awe 0500a | 500 | metal etch | water-soluble gases |
awe 0500ae | 500 | epi(dcs,tcs) | ||
semi-dry (asd) | asd 0800a | 800 | etch for cost-saving |
无焰催化处理技术（afc）
afc是结合了无焰催化热氧化和湿法处理技术的高温催化剂系统。用于 集成到卓效单一系统中，旨在减少易燃，水溶性气体并使nf3可容纳高达3000slm的高气流。
技术特点：
››在半导体应用和amoled流程中（使用大量生成气体和nf3的粉末）非常适合cvd工艺（使用nf3作为吹扫气体）。
››金属蚀刻应用的完备尊龙凯时人生就博官网登录的解决方案。
››由于电加热器和废气反应热，催化剂区域始终保持高温，而没有燃烧额外的燃料（lng）。
››减少nox生成
››粉末和水溶性气体被捕获在多级润湿区中
››降低了运行成本
››易于维护和滤芯更换
››触摸屏显示
湿法-等离子-湿法处理技术（apw）
apw是一个集成于单一系统的湿法-等离子-湿法处理技术的组合，是氧化物和多晶硅蚀刻工艺应用的理想选择。
技术特点：
››创新的湿法等离子分离设计
››耐用的反应堆等离子炬和电源设计
››具有高气体dre（％）的稳定性能
››在废气进入等离子反应器之前，先将副产物和水溶性气体进行预湿区去除
››有效减少cf4，c2f6，sf6等pfcs
››核心零件的使用寿命长和维护周期
››易于清洁和预防性维护
››触摸屏显示
燃烧-湿法处理（abw）
abw是集成于单一系统中燃烧和湿法处理技术的组合，旨在有效减少pfcs，是cvd和蚀刻工艺应用的理想选择。
技术特点：
››创新的快速燃烧湿室分离设计
››多个安全联锁
››燃烧室带有水冷壁机制的湍流火焰
››燃烧过程中可能产生的粉末和水溶性气体被捕获在多级润湿区
››有效减少cf4，c2f6，sf6等pfcs
››性能稳定
››运行成本低
››易于清洁和预防性维护
››触摸屏显示
德国busch废气处理系统
热式-湿法处理技术（atw）
技术特点：
atw将电热和湿法处理技术结合在一个系统中，该系统旨在容纳高达4000 slm的总气流，是重粉生成和腐蚀性应用的理想选择。
››创新的快速热湿室分离设计
››多个安全联锁
››两种减排方法的组合，即热湿法（通过易燃和发火性气体的无焰热氧化改变工艺气体的化学性质）和水溶解（对于水溶性气体）
››易于清洁和预防性维护
››触摸屏显示
湿法处理技术（awe）
技术特点：
awe湿式洗涤器是适应高h2和金属粉末生成应用的理想选择。
››金属蚀刻应用的完备尊龙凯时人生就博官网登录的解决方案
››较高的安全性和正常运行时间
››四个独立的反应室，配备智能入口防止堵塞功能和强大的文丘里管装置
››内置水循环系统
››降低了运营成本
››触摸屏显示
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