| 品牌 | inficon/美国 | 价格区间 | 面议 |
|---|---|---|---|
| 产地类别 | 进口 | 应用领域 | 电子,综合 |
inficon/英福康全功能型残余气体分析仪 transpector cpm rga
inficon cpm rga(残余气体分析仪）是一台全功能、轻便、高性能气体分析仪，理想地用于现场监测复杂的过程. 其干式抽空系统采用inficon transpector 2 气体分析系统的验证技术,并达到新的性能水平。
应用于ald、蚀刻、cvd ，对残余气体进行过程监测和分析
测量速度为每点 1.8 ms（每秒 555 点）
在大多数苛刻 cvd 和蚀刻应用中，展现出经实践验证的耐久性和可靠性
应用集成 — transpector cpm 集成 fabguard 软件，由 inficon 提供支持，是一款强大的过程监测与诊断工具
紧凑尺寸 — 允许轻松集成到半导体生产设备
hexblock™ 含三个压力进口并减少表面积，以最小化表面反应时间和响应时间
电容隔膜计 (cdg) — cdg 允许用户监测过程压力，并自动保护系统不出现压力偏移
自动校准 — 确保长期数据稳定性和精度，以便进行各传感器和工具的腔室匹配
| type | 100 amu cpm | 200 amu cpm | 300 amu cpm |
| 分辨率 | 1 amu wide @ 10% peak height | 1 amu wide @ 10% peak height | 1 amu wide @ 10% peak height |
| 总压力范围¹ | 5e-7 - 1e-3 torr | 5e-7 - 1e-3 torr | 5e-7 - 1e-3 torr |
| 总压力精度² | /- 25% 1e-6 - 1e-3 torr | /- 25% 1e-6 - 1e-3 torr | /- 25% 1e-6 - 1e-3 torr |
| 最大离子源工作压力³ | 1e-3 torr | 1e-3 torr | 1e-3 torr |
| 标称工作压力⁴ | 2e-4 torr | 2e-4 torr | 2e-4 torr |
| 系统工作压力 | 1e-8 torr - 1.2 atm | 1e-8 torr - 1.2 atm | 1e-8 torr - 1.2 atm |
| 灵敏度（低发射） | > 4e-6 amps/torr | > 2e-6 amps/torr | > 1e-6 amps/torr |
| 灵敏度（高发射） | > 2e-5 amps/torr | > 1e-5 amps/torr | > 5e-6 amps/torr |
| 最小可检测分压⁵ | 1e-13 torr | 2e-13 torr | 4e-13 torr |
| 最大数据速率 | 1.8 ms/point (555 points/sec) | 1.8 ms/point (555 points/sec) | 1.8 ms/point (555 points/sec) |
| 丰度灵敏度⁶ | < 5 ppm | < 10 ppm | < 100 ppm |
| 零冲击⁷ | < 2 ppm | < 25 ppm | < 200 ppm |
| 检测限值⁸ | < 1 ppm | < 2 ppm | < 4 ppm |
| 线性度⁹ | /- 20% | /- 20% | /- 20% |
| 最小背景压力 | 1e-8 torr | 1e-8 torr | 1e-8 torr |
| 最大传感器和进气温°c度 | 150 | 150 | 150 |
inficon/英福康全功能型残余气体分析仪 transpector cpm rga
1.使用总压强镜头获得的离子源压强读数@低发射
2.总压强准确度@低发射
3.离子源最大工作压强@低发射
4.2x10-4torr的离子源将在四极区域产生大约1x10-5torr的压强
5.em开启且保压时间为1秒时离子源处的mdpp
6.质量数40对41 amu的贡献
7.零冲击对2 amu的贡献
8.空气中的氪的最小可检出浓度@ 1秒保压时间
9.适用于1 torr孔板或更低设置。0.1至2倍标称孔板压强条件下的线性@低发射
联系qq：99864662
联系邮箱：jeffreywang@taihao-hz.cn
传真：0571-86894985
联系地址：浙江省杭州市西湖区西溪世纪中心2幢249室
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