| 品牌 | inficon/美国 | 价格区间 | 面议 |
|---|---|---|---|
| 产地类别 | 进口 | 应用领域 | 电子,综合 |
inficon transpector cpm 一直是半导体行业市场*先的残余气体分析仪 (rga) 过程监测系统。现在，transpector cpm 3 通过集成经实践验证的泵送和进口系统与新型传感器和电子元件，达到业内*先的测量速度和灵敏度。transpector cpm 3 是新型和现有半导体过程（例如，ald、cvd、pvd 和蚀刻）的理想 rga 过程监控器。
transpector cpm 3 通过以下特性为尊龙凯时人生就博官网登录的合作伙伴提供经实践证实的投资回报率：业内*先的测量技术，稳健的适应性架构，易于维护，出色的产品支持
ald、蚀刻、cvd 和 300 mm 除气残余气体分析仪 — 实现实时过程监测和分析
ald 就绪，测量速度为每点 1.8 ms（每秒 555 点）
在大多数苛刻 cvd 和蚀刻应用中，展现出经实践验证的耐久性和可靠性
应用集成 — transpector cpm 集成 fabguard 软件，由 inficon 高 级应用专家提供支持，是一款强大的过程监测与诊断工具
紧凑尺寸 — 允许轻松集成到半导体生产设备
hexblock™ 含三个压力进口并减少表面积，以zui小化表面反应时间和响应时间
电容隔膜计 (cdg) — cdg 允许用户监测过程压力，并自动保护系统不出现压力偏移
自动校准 — 确保长期数据稳定性和精度，以便进行各传感器和工具的腔室匹配
联系qq：99864662
联系邮箱：jeffreywang@taihao-hz.cn
传真：0571-86894985
联系地址：浙江省杭州市西湖区西溪世纪中心2幢249室
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