品牌 | inficon/美国 | 产地类别 | 进口 |
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应用领域 | 电子 |
bag552热电离真空计专为压力范围为 5 × 10-10 ... 2 x 10-2 毫巴的气体真空测量而设计。支持双灯丝,具有出色的精度、可重复性和使用寿命。bag552 还可与 inficon 真空计控制器系列 vgc501、vgc502 和 vgc503 配合使用。
优势
1,纯粹的 bayard-alpert 测量系统,适用于超高压和高压测量范围
2,双灯丝设计
3,电隔离电子设备,避免杂散电流
4,滑动发射模式,避免在切换发射流时出现压力跳跃和冻结现象
5,可移动校准数据芯片,延长了烘烤时间
6,设定点继电器
7,明亮大屏幕 oled 显示屏(可 90° 旋转),带用户界面
8,模拟输出、rs232c 串行接口、ethercat® 接口
9,可与 vgc50x 控制器系列配合使用
10,符合 rohs 规范
典型应用
半导体工艺中的压力测量
工业镀膜
高真空至超高真空范围内系统的一般真空测量和控制
测量范围 :(气, o2, co, n2) 5 × 10-10 … 2 × 10-2 mbar
准确度 :1 × 10-8 … 2 × 10-2 mbar ±15% 读数
可重复性: 5% 读数, 10-8 … 2 × 10-2 mbar (稳定 10 分钟后)
暴露在真空中的材料 不锈钢、镍铁合金、镀镍、哈氏合金、玻璃、铱、氧化钇 (y2o3)、镍、钨
bag552热电离真空计
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