四极质谱仪transpector 2-尊龙凯时人生就博官网登录

inficon（英福康）四极质谱仪(rga)有简易的高功能仪器用于监测真空系统，准确地辨别常规的残余气体，便于及时检测真空问题与快速解除故障。这台全内置的仪器可容易地连接任何真空室，内置程序和tcp/ip接口，用于控制toolcheck和运行于系统控制器的标准网页浏览器查阅结果，无需外接计算机。 简单的指令组易于写入用户特定的码，将toolcheck集成于您的系统控制器。

transpector 2的特点：

1、100－， 200－，和 300－amu 系统带法拉第杯或电子倍增器 / 法拉第杯的组合。

2、改进的氢检测。

3、与原始的 transpector 相比讯噪比提高 10 倍。

4、快速扫描低值讯号。

5、个量级的电子学动态量程。

6、用于单传感器和多传感器系统的软件选件。

7、分压测量从 1 × 10 -4 乇至 2 × 10 -14 乇。

transpector 2 是基于四极场的智能传感器，全部传感器电子驱动加上微处理器安装在一个附在传感器上的小型、轻便的密闭匣内。由于它是智能的传感器，具有相当的灵活度，您可以使用当前的计算机或从 inficon 选购 pc 和软件包。两种通讯链接， rs232 用于单传感器， rs485 用于多传感器配置，将 transpector2  连接控制计算机。简单的指令协议支配全部 transpector功能。

rga残余气体分析仪（四极质谱仪）应用：

1、检漏

2、真空设备本底状况鉴定

3、在线工艺气体监测分析

4、真空系统泄漏（内漏,外漏）

5、可设置报警点,实现报警功能

与氦质谱检漏仪的区别:

真空系统本底状态鉴定

在系统达到极限真空时测定残余气体的种类和量值

真空系统污染监测和控制

清洗介质残留,返油（碳氢化合物）,表面放气（空气, h2o,   o2, co, co2）

通过软件中的标准气体库,可确定气体成分

真空工艺监控

在线监控:实时反映工艺异常或偏差

数据按时间自动存储（sod文件）以便日后追溯进行工艺分析：

继电器输出可用于控制阀门

模拟输出可连线plc

镀膜工艺研究开发

各种工艺气体的相对比例对工艺/产品的影响

rga的选用 - 为您的镀膜机选择合适的rga

小可检分压强（mdpp）

法拉第杯（fc）:  3 x 10-13 torr

电子倍增器（em） 法拉第杯（fc）:10-14~10-15 torr

质量数（amu）

取决于需要探测的气体

100amu传感器 探测范围: 1-100amu

200amu传感器 探测范围: 1-200amu

300amu传感器 探测范围: 1-300amu

绝大多数工业应用仅需100amu传感器

工作压强范围

标准rga: < 5 x 10-4 torr

高压强型xpr3: < 1 x 10-2 torr

若需在更高压强下工作, 须使用取样系统（ipc400）