hps真空阀门-尊龙凯时人生就博官网登录

双级隔断阀是一种隔离阀门，它可以使系统能缓慢地抽真空。双级阀门由一个小的旁通阀和一个主隔离阀组成。旁通阀上有一个小开口用来进行真空的初抽，以减缓对系统的抽空速率，这样能减少由于颗粒扰动而产生的沾污，和因压力突然改变而引起的损伤。注：订货时请注明所需的密封材料(chemraz或viton)和气动电磁阀的电压(24vac, 24 vdc, 120 vac, 208 vac, 220 vac) 。

hps的超高真空uhv阀门是一种紧凑型真空阀门，可用于pvd、高能物理、质谱仪及其他要求超净环境的超高真空系统中。

为了在有限的空间条件下实现系统的软抽真空，我们推荐使用 hps 的 lopro 双级阀门，它将一个低高度的隔离阀和一个小的旁通阀相集成，很大地简化了系统的安装并降低了成本。

hps 225系列auto-soft是一个止流阀，在开始抽空时对低真空泵起节流作用。auto-soft能在系统开始抽空的瞬间迅速关闭，当达到一定设定的压差时则会自动开启，使整个真空管道线连通以达到实现抽真空过程的平衡。在半导体、薄膜以及其它产业中，auto-soft 可用来取代压力控制的旁通阀门来提供抽真空的软启动。

真空阀门mks拥有波纹管密封真空直阀的完整产品系列，对iso-kf、iso-通用型、asa、cf法兰和焊桩产品，其尺寸从3/4“ 到6“都有。160系列阀门具有长的设计寿命，适用于高频度使用的场合。其固有简洁性和出色的设计使它们可以应用于半导体生产设备中，在这些设备中往往存在着化学污染和颗粒沾污。该系列产品还可以用于等离子物理和核加速器等领域中的高级研究应用中。它具有数十万个开/关周期的工作寿命。

mks拥有波纹管密封真空角阀的完整产品系列，对iso-kf、iso-通用型、asa、cf法兰和焊桩产品，其尺寸从3/4“ 到6“都有。150系列阀门具有长的设计寿命，适用于高频度使用的场合。其固有简洁性和出众的设计使它们可以应用于半导体生产设备中，在这些设备中往往存在着化学污染和颗粒沾污。该系列产品还可以用于等离子物理和核加速器等领域中的研究应用中。真空阀门